1.項(xiàng)目背景:
半導(dǎo)體是電子產(chǎn)品的核心元件,是整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展基石。隨著半導(dǎo)體器件變得越來越小,半導(dǎo)體工藝從28nm走向7nm、5nm及更先進(jìn)等級后,先進(jìn)的制程對雜質(zhì)的敏感度更高,小尺寸污染物的高效清洗將更困難,對超純水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC等要求越來越嚴(yán),這意味著超純水的制備工藝將更重要、更富挑戰(zhàn)性。
2.項(xiàng)目信息
項(xiàng)目地點(diǎn):廣東省珠海市 應(yīng)用場景:企業(yè)中水回用系統(tǒng)
進(jìn)水水質(zhì):生產(chǎn)廢水 產(chǎn)水用途:工藝用水