硅材料廣泛應(yīng)用于新能源產(chǎn)業(yè)和電子工業(yè),如光伏硅片、半導(dǎo)體晶圓、玻璃板等。硅材料加工過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量廢水,且其中污染物含量高，針對(duì)這種問(wèn)題，中國(guó)膜行業(yè)陶瓷膜領(lǐng)域龍頭企業(yè)久吾高科開(kāi)發(fā)了一系列工藝包技術(shù),助力硅材料生產(chǎn)企業(yè)實(shí)現(xiàn)綠色可持續(xù)發(fā)展。
硅材料加工廢液中含有大量的硅粉、藥劑、純水，通過(guò)陶瓷膜過(guò)濾，分離得到膜清液和膜濃縮液兩個(gè)部分。其中，膜清液經(jīng)調(diào)配后，可實(shí)現(xiàn)藥劑、純水的回用；膜濃縮液繼續(xù)進(jìn)入板框壓濾設(shè)備，得到的硅泥，可作為副產(chǎn)物進(jìn)行銷售。
江蘇某光伏企業(yè)硅片切割加工廢液經(jīng)過(guò)陶瓷膜過(guò)濾，膜清液經(jīng)調(diào)配后回用于生產(chǎn)，膜濃縮液采用板框壓濾機(jī)壓濾得到硅泥。硅泥含水率為50%進(jìn)行外售。硅片切割加工廢液內(nèi)含冷卻液、純水、硅粉。采用該系統(tǒng)不僅可以回收冷卻液、純水，同時(shí)硅泥進(jìn)行外售。實(shí)現(xiàn)了切割加工廢液的資源化利用，同時(shí)降低了污水處理壓力。該工藝在光伏切片工藝段得到廣泛應(yīng)用。
冷卻液利用陶瓷膜過(guò)濾，該系統(tǒng)具有穩(wěn)定性好、絮體含量少、濾液質(zhì)量高、占地面積小、投資低等優(yōu)勢(shì)。
晶圓廠研磨廢水之前多直接排放污水處理廠，造成污水處理站負(fù)荷增高，同時(shí)水、硅粉、藥劑浪費(fèi)。久吾高科結(jié)合晶圓研磨廢水的特點(diǎn)及自身優(yōu)勢(shì)，開(kāi)發(fā)出膜和板框結(jié)合工藝，實(shí)現(xiàn)水、藥劑回用、硅粉回收外售的工藝。
江蘇某晶圓廠研磨廢水硅粉含量為0.5-1.0g/L，水量300m3/d，通過(guò)陶瓷膜過(guò)濾，清液進(jìn)行回用，膜濃縮液采用板框壓濾，硅泥泥餅外售。該工藝雖然增加了電費(fèi)、人工、設(shè)備折舊，但可以實(shí)現(xiàn)純水用量少70%以上、無(wú)污泥排放、運(yùn)行費(fèi)用少50%-60%的目標(biāo)。該項(xiàng)目投資回報(bào)周期為一年。
久吾高科作為中國(guó)膜行業(yè)陶瓷膜領(lǐng)域龍頭企業(yè)，擁有國(guó)家地方聯(lián)合工程研究中心，研發(fā)實(shí)力強(qiáng)。針對(duì)硅材料加工廢液的特點(diǎn)，不斷進(jìn)行優(yōu)化，可以采用高裝填陶瓷膜、管式有機(jī)膜等工藝優(yōu)化，進(jìn)一步降低能耗、占地面積，實(shí)現(xiàn)硅材料加工行業(yè)綠色化生產(chǎn)。
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